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    海德漢新一代電子和半導體生產(chǎn)技術(shù)

    2024-05-28      160

    海德漢新一代電子和半導體生產(chǎn)技術(shù)


    HEIDENHAIN海德漢高精度和高產(chǎn)出:詳細了解在HEIDENHAIN 2024半導體活動(dòng)上亮相的電子和半導體生產(chǎn)的全新解決方案。


    海德漢全面提高精度:多達六自由度的編碼器

    我們以多自由度技術(shù)為基礎設計開(kāi)發(fā)的編碼器可反饋一個(gè)以上自由度的位置。附加的反饋信號可顯著(zhù)提高測量精度,檢測其它方向運動(dòng)的位置誤差并進(jìn)行補償,避免影響系統。采用此創(chuàng )新技術(shù)的編碼器包括PP 6000 Dplus二維編碼器、LIP 6000 Dplus直線(xiàn)編碼器和GAP 1000間隙測量編碼器。


    PP 6000:兩個(gè)測量方向,達到更高精

    阿貝(Abbé)誤差影響機床精度。阿貝(Abbé)誤差通常難以測量,而PP 6000 二維編碼器可測量此誤差。這款編碼器只需一個(gè)讀數頭同時(shí)測量?jì)蓚€(gè)方向,測量面尺寸達464 mm x 464 mm,如果需要更大測量面尺寸,可根據需要提供。直接測量刀具中心點(diǎn),最大限度減小阿貝(Abbé)誤差,提高設備精度。EnDat 3接口在一條電纜中傳輸兩路位置反饋信號,因此,可減少電纜數量和減輕設置工作。PP 6000 編碼器優(yōu)化運動(dòng)系統的動(dòng)態(tài)性能。


    LIP 6000 Dplus : 1條柵尺,1個(gè)讀數頭,2個(gè)自由度

    LIP 6000 Dplus在一個(gè)光柵基體上提供兩條獨立的光柵刻軌,交叉角為+45°和–45°。專(zhuān)用的掃描場(chǎng)讀數頭直接掃描每一條光柵,在測量范圍的全長(cháng)上沿X軸主方向和Y軸輔助方向精確進(jìn)行測量。接口為EnDat 3,因此可用一條電纜將兩組位置值發(fā)給控制系統。顯著(zhù)簡(jiǎn)化電纜連接,簡(jiǎn)化編碼器安裝和提高運動(dòng)系統動(dòng)態(tài)性能。


    輕松檢查設備精度:基于LIP 6000 Dplus的校準工具

    我們提供以L(fǎng)IP 6000 Dplus為基礎的校準工具,可用其隨時(shí)檢測和調整設備。設備的校準并非日常任務(wù),用戶(hù)可租用我們的校準工具,這是HEIDENHAIN的一項服務(wù),用戶(hù)無(wú)需購買(mǎi)和持有自己的校準工具。我們提供認證的校準工具,在需要時(shí)可方便地用其檢查系統精度。


    GAP 1081: 平面外間隙測量

    海德漢全新的間隙測量編碼器GAP 1081??蓽y量特殊鏡面與讀數頭間的垂直間隙。因此,可用GAP 1081進(jìn)行簡(jiǎn)單的垂直位置測量。也可以安裝在平行于直線(xiàn)光柵尺的方向上,例如LIP 6000 Dplus,在直線(xiàn)軸方向上連續進(jìn)行垂直測量。GAP 1081的鏡面長(cháng)度可達3 m。如果在鏡面上使用兩個(gè)讀數頭,則可同時(shí)測量直線(xiàn)軸的俯仰和偏向。


    海德漢MRP 8081 Dplus:充分發(fā)揮編碼器的精度優(yōu)勢

    盡管編碼器提供認證的精度和精度檢定圖,但在應用中也可能無(wú)法充分發(fā)揮精度優(yōu)勢。原因多種多樣,特別是編碼器被安裝在剛性不足的部件上時(shí)。MRP 8081 Dplus提供可轉移精度,確保在應用中最大限度達到的精度。此技術(shù)使用了以下特性:


    海德漢高剛性的軸承

    四個(gè)讀數頭

    為控制系統提供全套校準數據

    MRP 8081 Dplus提供這些特性,在給定安裝條件、擺動(dòng)負載或其它外部條件下,例如振動(dòng)、突發(fā)的機械負載和溫度波動(dòng),系統精度可達±0.2角秒。提高精度和工作性能,在不犧牲精度的條件下達到更高電機轉速。

    除高精度角度測量外,MRP 8081 Dplus的四個(gè)讀數頭還能測量軸的徑向導向誤差。未來(lái),專(zhuān)用的電子電路可分析四路讀數頭信號,補償這些誤差。


    重負載軸:不受齒槽扭矩或徑向力影響

    海德漢MRP角度編碼器模塊與ETEL力矩電機珠聯(lián)璧合共同打造平滑性的運動(dòng)控制系統。無(wú)論齒槽扭矩還是徑向力對軸承的導向精度都沒(méi)有影響。我們還提供SRP 5000角度編碼器模塊,這是一款緊湊、超薄和高剛性的角度編碼器。其部件的高剛性還能確保在變化的負載條件下達到一致的高精度。


    HEIDENHAIN為高動(dòng)態(tài)性能旋轉軸開(kāi)發(fā)敞開(kāi)式編碼器:ERO 2000,現在提供多自由度技術(shù)的ERP 1080 Dplus

    電子和半導體生產(chǎn)是高速發(fā)展的行業(yè)。HEIDENHAIN不斷開(kāi)發(fā)敞開(kāi)式編碼器,滿(mǎn)足高速發(fā)展要求。ERO 2000增量式角度編碼器就是這樣一款產(chǎn)品,這款編碼器專(zhuān)用于空間有限和高動(dòng)態(tài)性能的應用,例如掃描振鏡。而且,ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此產(chǎn)品線(xiàn)中的一款產(chǎn)品,含四個(gè)讀數頭,其工作可靠性和安裝優(yōu)點(diǎn)與MRP 8081 Dplus角度編碼器模塊相同。


    總線(xiàn)式工作的EnDat 3接口:高速,易用,經(jīng)濟

    要實(shí)現系統的緊密集成,同時(shí)面向未來(lái)的數字化時(shí)代,包括總線(xiàn)式工作要求,EnDat 3是編碼器接口的理想選擇。EnDat 3可為自動(dòng)化系統減少連接電纜數量,可提供豐富的診斷功能,可實(shí)現更高安全性和可靠性。該接口提供通用型通信技術(shù),可傳輸豐富的數據,不僅包括位置反饋數據,還包括傳感器數據、系統監測數據和自動(dòng)配置數據。


    高動(dòng)態(tài)性能直驅電機的理想選擇:RSF靈活的模塊型光柵尺和編碼器

    RSF的直線(xiàn)光柵尺和角度編碼器采用模塊化設計,應用靈活,可輕松集成在應用系統中。這些光柵尺和角度編碼器支持大量不同接口,可輕松連接常用的控制系統和支持不同的物理設計。其它獲益還包括寬松的安裝公差和易于安裝。RSF的全新MCR 16角度編碼器可達更高信號質(zhì)量。 


    LIC 3000:高動(dòng)態(tài)性能直線(xiàn)軸的海德漢敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺

    LIC 3000系列光柵尺是繼LIC 4000系列和LIC 2000系列敞開(kāi)式絕對直線(xiàn)光柵尺之后的又一個(gè)產(chǎn)品線(xiàn)。LIC 3000測量步距僅10 nm,運動(dòng)速度可達600 m/min。LIC 3000直線(xiàn)光柵尺可進(jìn)行直線(xiàn)軸高動(dòng)態(tài)性能和高精度位置測量,測量長(cháng)度可達10 m。


    LIC 3000的大型掃描場(chǎng)可有效提高抗污性能。測量基準的局部污染對信號質(zhì)量和測量穩定性的影響十分有限。由于LIC 3000系列敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺動(dòng)態(tài)性能高,測量長(cháng)度大和堅固耐用,因此,這款光柵尺應用靈活,在更多的應用中都能充分發(fā)揮LIC光柵尺的優(yōu)勢。


    超薄直線(xiàn)光柵尺:NUMERIK JENA的LIKgo和LIKselect

    NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺是狹小安裝空間和高精度應用的理想選擇。


    標準型的LIKgo光柵尺的突出特點(diǎn)是體積小,重量輕。讀數頭尺寸僅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量?jì)H10 g。這款光柵尺采用新開(kāi)發(fā)的20 µm柵距的兩場(chǎng)掃描技術(shù),測量步距可達78.125 nm的精度,并提供高質(zhì)量信號和優(yōu)異的抗污性能。


    為滿(mǎn)足量身定制要求,LIKselect光柵尺結合NUMERIK JENA的Kit L系列優(yōu)點(diǎn),可以靈活配置編碼器功能特性,滿(mǎn)足個(gè)性化的應用需求。


    海德漢新一代電子和半導體生產(chǎn)技術(shù)


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